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油扩散泵是用来获得高真空或超高真空的重要设备。其主要特征尺寸为泵入口直径，当入口直径确定之后，其他连接尺寸和主要性能参数都有标准规定。扩散泵的入口直径在65-1600mm之间，极限压力最低可达10-8PA，抽气速率可以从每秒几十升到十几万升，最大出口压力在30-70PA之间。它广泛应用于真空冶金、真空热处理、真突镀膜、电子工业、航空航天、原子能等工业领域。
油扩散泵主要由挡油帽、泵体、泵芯、电加热器和挡油器五大部分组成。通过这五部分结构形状、尺寸的变化，可以衍生出许多不同的结构形式
油扩散泵按挡油帽可分为水冷和无水冷的两种型式。根据泵体油扩散泵可分成直腔泵和凸腔泵，根据泵芯蒸汽喷嘴的级数，可分成二级泵、三级泵，四级泵和五级泵。
根据加热器的安放位置.可分为内加热扩散泵和外加热扩散泵。当前市场上销售的泵大多数是外加热式，加热器为普通电炉，热损失比较大。从节能的角度考虑，今后应发展内加热式泵，但应合理解决加热器的电绝缘和通过泵壁的密封问题。
扩散泵上还有一些辅件，包括油温继电器，水温电器，油标，灌油口、放油口，快速冷却器等。快速冷却器其实就是缠绕在泵体底部靠近电炉的冷却水管，泵在正常工作时不通水，当泵停止加热时，通入冷却水，目的是使扩散泵油快速冷却，以便停止前线机械泵的运行，达到省时、节电的目的。快速冷却器通水，一直到泵底温度接近50℃时，方可断水。
油扩散泵使用的注意事项
调试好的新泵可直接接人真空系统工作。旧泵或长期放置的新泵，在接人真空系统前，应对泵中零件进行清洁处理，并换油。
①除去泵芯表面和泵壁上的杂质和各种油污。
②用丙酮、四氯化碳或干净汽油擦洗各零体和泵内壁表面，玻璃油扩散泵用重铬酸钾洗液淸洗。保持周围环境清洁，无灰尘，然后用热风吹干。
③按顺序将泵芯装人泵体内，调整好各级喷嘴间隙，然后按规定数量加足泵油，可根据经验测量油层深度，一般约1?2cm深即可。
④检査加热电炉的电炉丝是否烧断、短路，电炉的绝缘性能、保温性能是否良好。
⑤检查水冷管（或水冷套）是否漏水、堵塞，要求水路畅通，水量充足。
⑥将泵接入真空系统，并对系统进行检漏，要求系统漏气率在允许范围内。
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