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随着真空技术的不断发展，真空设备在冶金工业被广泛应用。油扩散泵作为大多数高真空系统的主泵，具有结构简单，抽气速率高，容易获得高真空等特点，备受青睐；但油扩散泵的返油问题，多年以来，却在生产实际中难以得到有效地解决。本文就如何控制油扩散泵的返油率，以期获得高真空系统为目的，从油扩散泵的设计原理及在生产实际中积累的经验进行探讨。
然后造成油扩散泵返油的情况比较多总结如下：
泵壁、特别是顶部泵壁的冷却能力
不适当的泵壁表面温度，使碰撞在扩散泵表面的蒸汽分子可能不会凝聚；沿泵壁向下流的油层表面温度比泵壁温度高的多，易于产生再蒸发，形成油返流，所以泵壁冷却效率要高。顶部泵壁的充分冷却能大大减少一级喷嘴表面的油膜和油滴再蒸发引起的返流率。
扩散泵入口障板阻挡油分子散射的能力不强
油扩散泵入口障板的主要作用是，当扩散泵正常工作时，阻挡不规则运动的油蒸汽分子向被抽容器中返流的屏障。障板的结构对阻挡油分子的返流有很大关系。
扩散泵加热功率过大，油温过高，返油率增大
油扩散泵加热功率过大超出最佳值，油蒸汽射流密度增大，被抽气体不易向蒸汽分子中扩散，蒸汽流速度过大，撞击到泵壁上来不及冷凝反而溅射，就增加了油分子向被抽容器中扩散的机率，从而增大了返流率。
出口压力过大，引起返油
油扩散泵的出口压力不能超过最大反压强，当扩散泵工作时出口压强过大，气体将由前级泵向扩散泵反扩散，改变油蒸汽分子的的定向运动，增大油蒸汽返流率。
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